5月27日下午,参观中国科学院微电子研究所。中科院微电子所的前身是成立于19xx年的中国科学院109厂,1X年中国科学院半导体研究所微电子学部加入,合并为中国科学院微电子中心,20xx年正式更名为中国科学院微电子研究所。主要研究方向有硅器件及集成技术、微细加工与新型纳米器件集成、微波电路与化合物半导体器件、集成电路设计与系统应用等。在五十多年的发展历程中,中科院微电子所先后为我国第一台锗晶体管计算机、我国第一台硅晶体管计算机、我国第一颗人造卫星“东方红”提供了半导体晶体管。取得丰硕的成果,为电子技术的进步与产业的发展做出了重要贡献。此参观期间给我留下深刻印象和具有深远影响的是陈宝钦研究院的一场持续两小时的报告。陈教授在微光刻与电子束光刻技术方向整整工作了四十年,他告诉我们:“做好每一件简单的事,就是不简单;做好每一件平凡的事,就是不平凡”。陈教授几乎终身专注于微光刻与电子束光刻技术,但他也对很多事物都充满兴趣。从陈教授的报告中很容易感受到他对工作和生活都充满激情,他以身践行“做好每一件简单事则不简单”的人生哲学。
5月28日上午,参观北京晨晶电子有限公司。北京晨晶电子是七星华创股份有限公司的子公司,主要生产和研发各类型的石英晶体谐振器、振荡器和滤波器,产品广泛应用于载波通讯、导航控制、卫星通讯、数字仪表和计算机等各种航天及国防电子设备和仪器中。晶振从功能上可分为无源晶振和有源晶振,无源晶振只是个石英晶体片,使用时需要匹配相应的电容、电感、电阻等外围电路才能工作,精度比有源晶振低,但它不需要电源供电,一般为二管脚封装;有源晶振内部含有石英晶体和匹配电容等外围电路,精度高、输出信号稳定、不需要设计外围电路,一般为四管脚封装。石英晶振是利用石英片的压电效应,石英片的.机械形变振幅较小,晶体振动频率比较稳定,当外加交变电压的频率和晶体的固有频率相等时,机械振动的振幅急剧增加。石英晶体以机械强度高、物理化学性能稳定、内损耗低等优点被广泛用于频率控制和频率选择电路中。石英晶体谐振器由石英片、电极、基座、上盖、导电胶组成。石英晶片的制作一般需经过如下工艺流程:定角、切断、粗磨、角度分频、大方片切割、细磨、线切割、尺寸研磨、浸蚀、频率分频、最终检验。
5月28日上午,参观完晨晶电子,随后又参观了七星华创电子股份有限公司旗下的微电子分公司。七星电子是一家以集成电路制造工艺技术为核心、以大规模集成电路制造设备、混合集成电路和电子元件为主管业务,集研发、生产、销售及服务于一体的大型综合性高科技公司。七星电子是中国电子专用设备协会理事会长及中国电子元件协会副理事长单位,具备一流的生产环境、加工手段和检测仪器,是中国最大的电子设备生产基地和高端电子元器件制造基地。七星电子拥有世界上较为先进的千级净化厂房和百级装配室,具有国际水平的美国MKS、DHI等系列标准,现在,公司产品已广泛应用于半导体、真空、太阳能、TFT、分析仪器、光电、制气、石化、医疗、航空、电力等行业。
二十一世纪是信息时代,微电子学无可厚非是信息产业的基础,微电子的迅猛发展带给人类巨大的便利,也带来了巨大的经济利益。虽然基于经典计算的计算机芯片很快就要达到物理极限、传统的摩尔定律就快要失效,但微电子对人类生产力、推动科学技术发展所起的重要作用将被后人永远铭记。
在此次短暂的实习中,我学习了解到晶体管、二极管的生产工艺、直拉法生产单晶硅的工序、石英晶片的制造及检测工艺等。也见到一些先进的工艺设备,如直拉单晶炉、电子束光刻机等。我了解到半导体行业的工作环境和工作职责,通过与工作人员的交流,我也意识到掌握扎实的理论知识在科技创新中的重要性,踏实工作、注重掌握先进技术对一位优秀的工作人员至关重要。
最后要感谢学校和相关单位能为我们提供这次宝贵的实习机会,感谢带队的老师、辅导员以及各公司细心讲解的员工。
一 、实训任务要求
按照自己的想法和设计,实现预期的功能效果。